纳米三坐标测量机科技是当今的前沿科技领域，然而只有当能够对纳米尺度进行测量时纳米科技才能成为真正的科学。

目前纳米尺度的测量已从一维测量走向三维测量。 在传统设计的三坐标测量机的测量精度已经接近极限的时候，这些纳米级精度三坐标测量机一般都采用了许多非传统元器件，材料和结构设计。常见的有用激光干涉仪或电容传感器做定位的，用压电器件做驱动的，用光学，电子或MEM(Micro-ElectroMechanics)器件做测头的，用陶瓷材料做结构的，用压电微动器件做角度调节或位置修正的...在微电子，材料物理，光学器件等等行业的快速增长的推动下，纳米级精度的三坐标测量机也成为三坐标测量机发展的一个重要分支。目前世界上正在从事纳米三坐标测量机研究开发工作的厂家和科研机构有上百所。